작성일 : 13-06-19 13:44
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Particle Counter의 원리
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글쓴이 :
제이씨과학
 조회 : 6,176
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 Particle_Counter_원리.pdf (111.4K) [492] DATE : 2013-06-19 13:44:19 |
입자의 측정은 크게 2종류로 분류할 수 있다 즉 입자의 크기 및 분포도
를 측정하는 장비와 입자의 크기 및 계수 장비이다.
일반적으로 분포도를 측정하는 장비는 0.002 micron부터 2micron 까
지 측정하는 장비(dynamic light scattering 원리), 0.02에서 2000
micron 까지 측정하는(Laser diffraction 원리) 장비들이 있으며 계수는
간접적으로 software에 의하여 산출되므로 계수의 data로 활용 할 수
없다.
입자계수 장비로는 전기저항을 이용한 coulter method 와 Photozone
방식과 scattering detect를 이용한 장비들이 있으나 coulter method는
원리상 전해질을 사용하여야 하는 등의 문제로 활용이 안되고 있으며
Photozone 방식은 물의 오염도, 오일의 오염도, solvent의 오염도 등을
측정하는데 광범위하게 사용되고 있다. Scattering detect 방식은
photozone 의 측정 영역인 0.5 micron 이하 대의 측정에 가능하도록
In-situ sensor를 이용하는 방식으로 초순수 등 반도체 공정에서 측정범
위를 0.1 - 1 micron, 0.3 - 3 micron 등으로 입자의 오염정도가 매
우 작은 공정에서 활용하고있다.
Photozone 방식은 Volumemetric Sensor를 이용하는 방식으로서 1 -
200 micron, 1 - 400 micron, 2.5 - 850 micron, 20 - 2000
micron 등 광범위한 영역에서 사용하고 있으며 공인된 sensor
calibration 방법에 의하여 calibration 되어서 공급된다.
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